电子显微镜是韩国政府纳米技术产业化战略目标中，20项服务于纳米技术研发的软硬件工程之一的重点项目, 力争在2010年前达到世界较先进水平。自2000年开始立项，韩国政府招募海外科学家，政府投资两家单位，同时开展对电子显微镜的研制，一家为企业即韩国MIRERO株式会社，另一家为事业单位韩国标准与科学研究院（KRISS）。

　　韩国MIRERO株式会社一个事业部承担电镜项目，2007年该事业部转变为MIRERO独立子公司SERON。由于过去MIRERO具有仿制扫描电镜的基础原型，在此基础上2002年便推出IS2000型商品化电镜，2003年升级为AIS2003分辨率为5nm，2004年升级为AIS2100分辨率标称3.5nm，并且于2005年开始海外市场推广，AIS2100扫描电镜在2004年到2009年作为其主要产品供应国内及国际市场。

　　自2006-2010年期间我国曾经进口了几台，2010年初本人有幸亲自在AIS2100两家中国客户处上机考察，发现其较多问题,例如无电子枪电磁对中器,大幅度改变加速电压或灯丝温度,造成的灯丝微小变形,足以令电子枪合轴不良,因此要想改变电压或者灯丝温度,都要重新进行机械对中调整,一般该厂商不建议用户经常改变观察条件,用户确实也是那么做的;还有软件没有工作距离参数显示,改变工作距离,进行聚焦,放大倍数不变,这个是不能允许的。

　　当然这些明显的缺陷在近一两年有所解决.最主要的问题,其采用扩散泵真空系统,按道理本身振动小才对,调查的结果却是,即使加上样品台气锁,超过一万倍就开始影响图像.究其原因产业化过早,过早参与竞争带来经营上的压力巨大，加上底端的钨灯丝扫描电镜,市场和技术都很成熟,利润率又很低,韩国政府采购中强制采购其产品，没有竞争,因而对待问题的态度成了决定因素,往往遮蔽其制造技术缺陷。2009年底该企业推出升级产品AIS2100C及AIS2300C型扫描电镜.

　　韩国标准与科学研究院（KRISS），从一开始便科学严谨的进行电镜技术开发，2000年进行市场调研，2001年进行电子光学电磁透镜设计，2003年获得了初步成果，样机上获得5nm分辨率照片，并不断优化设计完善，实现了最佳性能。2004年开始设计全数字控制系统，高压电路板等，2005年研制成功高亮度钨灯丝电子枪。2007年7月，电子显微镜项目组从KRISS成功分离，成立COXEM公司。COXEM商品化扫描电镜一经推出，便是比较成熟可靠的，高档涡轮分子泵洁净真空系统配置，以极高的性价比，受到用户欢迎。07年在韩国仅出售1台， 08年出售了6台，09年出售了23台，从绝对数量上看很少，但从增长率上来看，确是很高的。充分说明，使用者的示范效应起到了市场催化。

　　韩国国内用户对于COXEM扫描电镜的渴求，可谓是久旱望甘霖，终于有了韩国本土制造的扫描电镜，可以和其他进口品牌，在同档产品的综合性能上一较高下，令韩国人为之振奋，预计2010年，coxem电镜在韩国本土的销售可达40台以上.2010年初，coxem开始开发海外市场，首先开发的是美国市场，美国evex能谱公司作为其合作伙伴，其次是中国市场为代表的亚洲各国市场。2009年底coxem推出可靠地CX-200型全自动扫描电子显微镜，该型号将于2010年下半年向海外发售。

　　韩国这两家制造商持续受到政府技术创新资金支持，海外市场开拓基金支持，开发纳米科技支撑装备电子显微镜为目标，开发海外市场。

　　目前韩国钨灯丝扫描电镜市场每年需求约200台，据说韩国本土制造占有50%份额。