资料显示，ChipSensors成立于2006年，该公司技术可以令芯片表面具有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及病菌探测等技术。该技术使用低K介质金属材料，并使用深亚微米CMOS工艺，金属上存在众多小孔并且对微粒具有选择性，而金属介电常数的改变，便引起电容的改变从而进行探测。

　　Silicon Labs今年4月份收购了Silicon Clocks，这是一家利用CMOS及MEMS技术生产时钟相关芯片的公司，而通过这两次并购活动，Silicon Labs表现出了强烈的进军MEMS系统的野心。