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dbzz深圳东田专注parylene
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Parylene能在0.2微米厚时就完全没有针孔，5微米厚就能耐1000V以上直流击穿电压，同时又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能优异。
因此，在微电子机械系统中，Parylene除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene是六十年代中期美国Union Carbide Co.
开发应用的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二甲苯的聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。
Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。
这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
Parylene是独特的聚对二甲苯材料系列的统称，属于一种具有完全线形、高度结晶的高聚物。
N型Parylene是对二甲苯的高聚物,在各类Parylene中具有最强的渗透能力，能够有效地在各种细缝或盲孔表面形成薄膜。它的介电常数极低(2.65)及耗散因子小，且随外界频率的增加变化不大；同时具有最佳的润滑效果，主要用于橡胶、光学领域。
在对二甲苯链的侧环上添加一个氯原子，就得到了C型Parylene。C型Parylene具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率，沉积生长速率也比N型快得多，相应的渗透能力也差于N型；是目前应用最广，防护效果最好的Parylene。
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