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176 系列 — 测量显微镜
MF 测量显微镜具有可扩展性,如与三丰
Vision Unit 一起使用可提高其性能,或者可
在 PC 中进行数据管理,从而确保提高效率。
特点
? 亮视场观察、清晰的无闪烁的正像、以
及宽阔的视场范围。
? 长工作距离目镜,倍率可达 100X (总倍率:
2000X)。
? 透射照明孔径光阑和反射照明系统为标
准性能配置。
XY 工作台选择 (行程范围)
? 快速释放系统,特别适用于长行程测量。
? 微调/粗调立柱两侧的加紧装置,进行
聚焦和测量。
? 调零开关 (X 轴和 Y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
? 可将 Vision Unit 升级为视像测量系统。
性能参数
XY 工作台移动范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦 (粗调焦:10mm/rev、微调焦:0.1mm/rev)
测量方法 线性编码器 (2 轴型:X / Y 轴、3 轴型:X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度 (20oC 时) XY 轴:(2.5 0.02L)μm, L 为无负载测量长度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20oC |