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激光干涉仪
| 详细信息  
关键字:激光干涉仪
dbzz
产品名称:激光干涉仪
产品型号:ZLM900-3D
产品产地:德国
制 造 商:JENAer公司
 
详细介绍:
双频激光干涉仪 ZLM900-3D
 
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激光干涉仪ZLM 900-3D
 
PXI-激光干涉仪ZLM900-3D
 
光学ZLM 900-3D
 

世界范围内,同类产品中效率最高的干涉仪

  • 3-轴外差频率激光干涉仪,用于位置测量、俯仰角、偏摆角和三角的测量
  • 高柔性调整模块,用于CNC-校定
  • 最大动态测量速度4m/s
  • 标准分辨率1nm (位置), 0.01"(角)
  • 精度<50nm/m (使用高精度温度传感器)
  • 兼容PCI和PXI总线,兼容网络
  • 也适用于3D的快速调整
  • 所有3轴的实时时间测量
  • 最多可扩展到6轴
  • 小型反射镜
  • 外部最大触发频率40MHz


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